俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域

来源:未知    作者:admin    人气:    发布时间:2018-05-05    
标准编号 GB/T 31470-2015阅读全文
中文名称 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
英文名称 Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers
发布日期 2015-05-15 实施日期 2016-01-01
代替标准  
采标号  
采标名称  
采标程度   采标类型
ICS 17.220.20 CCS N26
标准类别 方法
主管部门 国家标准化管理委员会(469)
归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(TC203)
公告号 2015年第15号

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