标准编号 | GB/T 31470-2015阅读全文 | ||
中文名称 | 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则 | ||
英文名称 | Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers | ||
发布日期 | 2015-05-15 | 实施日期 | 2016-01-01 |
代替标准 | |||
采标号 | |||
采标名称 | |||
采标程度 | 采标类型 | 无 | |
ICS | 17.220.20 | CCS | N26 |
标准类别 | 方法 | ||
主管部门 | 国家标准化管理委员会(469) | ||
归口单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(TC203) | ||
公告号 | 2015年第15号 |